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物理学报
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轴流式射频PCVD沉积质量分布的动力学分析
轴流式射频PCVD沉积质量分布的动力学分析
刘大明
刘祖黎
姚凯伦
李再光
物理学报
Issue(9)：1505-1513,9.
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物理学报
Issue(9)
：1505-1513,9.
轴流式射频PCVD沉积质量分布的动力学分析
刘大明
1
刘祖黎
1
姚凯伦
1
李再光
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摘要
关键词
轴流式
/
射频
/
PCVD
/
沉积质量
分类
数理科学
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刘大明,刘祖黎,姚凯伦,李再光..轴流式射频PCVD沉积质量分布的动力学分析[J].物理学报,1991,(9):1505-1513,9.
物理学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-3290
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