物理学报2002，Vol.51Issue(7)：1506-1511,6.
低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射
Emission of the backscattered electrons from ultra-thin film on substrate under the action of low-energy beams
谭震宇 1夏曰源2
作者信息
- 1. 山东大学电气工程学院,济南,250061
- 2. 山东大学物理与微电子学院,济南,250100
- 折叠
摘要
关键词
背散射电子/Monte Carlo方法,超薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
谭震宇,夏曰源..低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射[J].物理学报,2002,51(7):1506-1511,6.
