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Si-SiO2-A12O3结构的电子束辐照效应

林理彬 田景文 谢建华 陈伯英 唐方元 熊文树 林茂清

半导体学报Issue(2)：151,1.
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半导体学报Issue(2)：151,1.

Si-SiO2-A12O3结构的电子束辐照效应

林理彬 1田景文 1谢建华 1陈伯英 1唐方元 1熊文树 1林茂清1

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林理彬,田景文,谢建华,陈伯英,唐方元,熊文树,林茂清..Si-SiO2-A12O3结构的电子束辐照效应[J].半导体学报,1982,(2):151,1.

半导体学报

1674-4926

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