传感技术学报2009，Vol.22Issue(2)：151-154,4.
基于MEMS技术的异平面空心金属微针
Out-of-Plane Hollow Metallic Microneedle Based on MEMS Technology
摘要
关键词
MEMS/微针/电镀/异平面/药物投送分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
沈修成,刘景全,王亚军,郭忠元,芮岳峰..基于MEMS技术的异平面空心金属微针[J].传感技术学报,2009,22(2):151-154,4.基金项目
微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C7903020806) （9140C7903020806）
校国防科技发展基金资助(07GFH-BB01-030) （07GFH-BB01-030）
