人工晶体学报2008，Vol.37Issue(1)：151-155,5.
自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积
Intrinsic p-type ZnO Films by Helicon-wave-plasma Assisted Sputtering Deposition
摘要
关键词
p-ZnO/螺旋波等离子体/自然掺杂/应力分类
数理科学引用本文复制引用
于威,张锦川,许贺菊,张丽,杨丽华,傅广生..自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积[J].人工晶体学报,2008,37(1):151-155,5.基金项目
河北省自然科学基金(No.E2006001006) （No.E2006001006）
