中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：151-155,5.
超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究
Study on Micromachined Deformable Mirrors' Actuator with Giant Magnetostrictive Film
赵泽宇 1侯德胜 1谌贵辉 2张万里3
作者信息
- 1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209
- 2. 电子科技大学,成都,610054
- 3. 西昌学院,西昌,615022
- 折叠
摘要
关键词
超磁致伸缩薄膜/微机电系统/微机械变形镜/驱动器/微桥分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵泽宇,侯德胜,谌贵辉,张万里..超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究[J].中国机械工程,2005,16(z1):151-155,5.
