硅酸盐学报2007，Vol.35Issue(11)：1514-1519,6.
磁控溅射法制备ZrW2O8/Cu梯度薄膜
PREPARATION OF ZrW2O8/Cu GRADIENT FILMS BY RADIO FREQUENCY MAGNETRON SPUTTERING
摘要
关键词
钨酸锆/铜/梯度薄膜/磁控溅射分类
物理学引用本文复制引用
程晓农,宋娟,严学华..磁控溅射法制备ZrW2O8/Cu梯度薄膜[J].硅酸盐学报,2007,35(11):1514-1519,6.基金项目
国家自然科学基金(50372027,50772044) （50372027,50772044）
江苏省高校自然科学基金(06KJA43010,06KJB430012) （06KJA43010,06KJB430012）
江苏省薄膜材料重点实验室开放基金资助项目. （）
