传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1516-1518,1522,4.
利用白光干涉原理测量MEMS深槽结构
Measuring MEMS Deep-Trench Structures with White Light Interference
摘要
关键词
白光干涉/MEMS/三维形貌测试分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
薛晨阳,孔繁华,张文栋,熊继军,张斌珍,郑丽娜..利用白光干涉原理测量MEMS深槽结构[J].传感技术学报,2006,19(5):1516-1518,1522,4.基金项目
国家自然科学基金重点项目资助(50535030) （50535030）
电子测试技术国家重点实验室基金资助 （）
山西省外国留学人员基金资助 （）
