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两种陶瓷薄膜的透射电镜研究

罗庆洪陆永浩娄艳芝王燕斌杨会生

现代科学仪器Issue(4)：15-17,3.

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现代科学仪器Issue(4)：15-17,3.

两种陶瓷薄膜的透射电镜研究

Transmission Electron Microscopy Study on Microstructures of two Hard Coating Deposited by Magnetron Sputtering

罗庆洪 ¹陆永浩 ¹娄艳芝 ²王燕斌 ¹杨会生¹

作者信息

1. 北京科技大学材料物理与化学系,北京,100083
2. 北京航空材料研究院,北京,100095
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摘要

关键词

显微结构/硬质薄膜/磁控溅射

分类

矿业与冶金

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罗庆洪,陆永浩,娄艳芝,王燕斌,杨会生..两种陶瓷薄膜的透射电镜研究[J].现代科学仪器,2009,(4):15-17,3.

基金项目

国家自然科学基金(No.50871018)资助课题（No.50871018）

现代科学仪器

OACSTPCD

ISSN：1003-8892

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