计量学报2008，Vol.29Issue(z1)：15-18,4.
外差干涉仪中偏振分光镜对测量精度的影响
Influence of Polarized Beam Splitter on Measurement Precision in Heterodyne Interferometry
陈洪芳 1谭久彬 2钟志3
作者信息
- 1. 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院,北京 100124
- 2. 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江哈尔滨 150001
- 3. 哈尔滨工程大学信息与通信工程学院,黑龙江哈尔滨 150001
- 折叠
摘要
关键词
计量学/激光外差干涉/非线性误差/偏振分光镜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈洪芳,谭久彬,钟志..外差干涉仪中偏振分光镜对测量精度的影响[J].计量学报,2008,29(z1):15-18,4.
