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CVD金刚石膜的抛光技术

张恒大刘敬明宋建华蒋政吕反修

表面技术2001，Vol.30Issue(1)：15-18,4.

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表面技术2001，Vol.30Issue(1)：15-18,4.

CVD金刚石膜的抛光技术

Polishing Techniques of CVD Diamond Films

张恒大 ¹刘敬明 ¹宋建华 ¹蒋政 ¹吕反修¹

作者信息

1. 北京科技大学,北京,100083
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摘要

关键词

金刚石膜/抛光/化学气相沉积

分类

矿业与冶金

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张恒大,刘敬明,宋建华,蒋政,吕反修..CVD金刚石膜的抛光技术[J].表面技术,2001,30(1):15-18,4.

表面技术

OA北大核心

ISSN：1001-3660

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