中国机械工程2007，Vol.18Issue(13)：1518-1522,5.
基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真
System Level Modeling and Simulation of Micromachined Capacitive Microphone Based on Parametric Element
摘要
关键词
MEMS/电容式传声器/系统级/参数化组件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
安鹏,苑伟政,张承亮..基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真[J].中国机械工程,2007,18(13):1518-1522,5.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2005AA404240) （2005AA404240）
