工程设计学报2003，Vol.10Issue(1)：15-19,5.
超精密装置PID振动控制系统的仿真研究
Design of PID vibration control system for ultra-precision device
摘要
关键词
超精密装置/仿生学/主动振动控制/PID控制分类
机械制造引用本文复制引用
陈亚良,傅龙珠,梅德庆,陈子辰..超精密装置PID振动控制系统的仿真研究[J].工程设计学报,2003,10(1):15-19,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50075078). （50075078）
