强激光与粒子束2006，Vol.18Issue(1)：15-20,6.
分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析
Electro-mechanical coupled analysis of continuous-membrane bulk-micromachined silicon deformable mirror
摘要
关键词
微变形反射镜/力电耦合/自适应光学/静电驱动/镜面变形分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘彦,陈海清,余洪斌,吴鹏,向晓燕,杨国元..分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析[J].强激光与粒子束,2006,18(1):15-20,6.基金项目
国家自然科学基金委-中国工程物理研究院联合基金资助课题 （）
