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添加Y改善离子镀氮化钛膜的结构与性能
添加Y改善离子镀氮化钛膜的结构与性能
刘长清
吴维(山文)
金柱京
物理学报
Issue(9)：1520-1524,1520a,6.
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物理学报
Issue(9)
：1520-1524,1520a,6.
添加Y改善离子镀氮化钛膜的结构与性能
刘长清
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吴维(山文)
1
金柱京
1
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关键词
稀土元素
/
离子镀
/
氮化钛
/
镀膜
分类
矿业与冶金
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刘长清,吴维(山文),金柱京..添加Y改善离子镀氮化钛膜的结构与性能[J].物理学报,1991,(9):1520-1524,1520a,6.
物理学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-3290
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