计量学报1998,Vol.19Issue(2):152-156,5.
用圆弧极板型差动式电容传感器测量主轴回转精度时的误差分析
Error Analysis of Differential Capacitor Transducer for Spindle Error Motion Measurement
洪迈生 1洪亮2
作者信息
- 1. 上海交通大学,上海,200030
- 2. 西门子移动通讯公司,上海,201206
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摘要
关键词
主轴回转误差测量/电容传感器/差动法分类
通用工业技术引用本文复制引用
洪迈生,洪亮..用圆弧极板型差动式电容传感器测量主轴回转精度时的误差分析[J].计量学报,1998,19(2):152-156,5.