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纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能

梁继然 胡明 王晓东 李贵柯 季安 杨富华 刘剑 吴南健 陈弘达

物理化学学报2009,Vol.25Issue(8):1523-1529,7.
物理化学学报2009,Vol.25Issue(8):1523-1529,7.

纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能

Fabrication and Infrared Optical Properties of Nano Vanadium Dioxide Thin Films

梁继然 1胡明 1王晓东 2李贵柯 3季安 2杨富华 2刘剑 3吴南健 3陈弘达4

作者信息

  • 1. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072
  • 2. 中国科学院半导体研究所,半导体集成技术工程研究中心,北京,100083
  • 3. 中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京,100083
  • 4. 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

双离子束溅射/纳米二氧化钒薄膜/透射率

分类

化学化工

引用本文复制引用

梁继然,胡明,王晓东,李贵柯,季安,杨富华,刘剑,吴南健,陈弘达..纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能[J].物理化学学报,2009,25(8):1523-1529,7.

基金项目

The project was supported by the National High-Tech Research and Development Program ofChina(863)(2008AA031401),National Natural Science Foundation of China(60771019),and Tianjin Key Program of Applied Foundation and Advanced-Tech Research.China(08JCZDJC17500).国家高技术研究发展计划(863)项N(2008AA031401).国家自然科学基金(60771019),天津市应用基础及前沿技术研究重点项目(08JCZDJC17500)资助 (863)

物理化学学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-6818

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