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背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

朱艳青 王维彪 王志立 崔乃迪 梁静秋 梁中翥 黄鑫华 乐孜纯 伊福廷 侯凤杰 黄万霞 董文

物理学报2009，Vol.58Issue(3)：1526-1530,5.
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物理学报2009，Vol.58Issue(3)：1526-1530,5.

背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology

朱艳青 1王维彪 2王志立 1崔乃迪 3梁静秋 1梁中翥 2黄鑫华 1乐孜纯 1伊福廷 1侯凤杰 2黄万霞 4董文3

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 3. 中国科学院高能物理研究所,北京,100049
  • 4. 浙江工业大学,杭州,310032
  • 折叠

摘要

关键词

组合折射透镜/背面曝光/沙漏状/SU-8

分类

数理科学

引用本文复制引用

朱艳青,王维彪,王志立,崔乃迪,梁静秋,梁中翥,黄鑫华,乐孜纯,伊福廷,侯凤杰,黄万霞,董文..背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜[J].物理学报,2009,58(3):1526-1530,5.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60672014 ),北京正负电子对撞机国家实验室用户项目资助的课题. （批准号:60672014 ）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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