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物理学报
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氮化硅薄膜的微结构
氮化硅薄膜的微结构
陈俊芳
王卫乡
刘颂豪
任兆杏
物理学报
1998，Vol.47
Issue(9)：1529-1535,7.
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物理学报
1998，Vol.47
Issue(9)
：1529-1535,7.
氮化硅薄膜的微结构
陈俊芳
1
王卫乡
1
刘颂豪
2
任兆杏
2
作者信息
1.
华南师范大学物理系
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摘要
关键词
TEM
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STM
/
PDS
/
氮化硅
/
薄膜
/
微结构
分类
数理科学
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陈俊芳,王卫乡,刘颂豪,任兆杏..氮化硅薄膜的微结构[J].物理学报,1998,47(9):1529-1535,7.
物理学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1000-3290
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