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大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
黄天斌
刘敬明
唐伟忠
佟玉梅
于秀文
吕反修
北京科技大学学报
2000，Vol.22
Issue(2)：153,1.
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北京科技大学学报
2000，Vol.22
Issue(2)
：153,1.
大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
黄天斌
1
刘敬明
1
唐伟忠
1
佟玉梅
1
于秀文
1
吕反修
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关键词
大面积金刚石膜
/
热应力
/
数值计算
/
沉积过程
分类
数理科学
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黄天斌,刘敬明,唐伟忠,佟玉梅,于秀文,吕反修..大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析[J].北京科技大学学报,2000,22(2):153,1.
北京科技大学学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
2095-9389
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