半导体学报2007，Vol.28Issue(z1)：153-156,4.
氧氩流量比对Al掺杂ZnO薄膜光电性能的影响
Influence of O2/Ar Ratio on Optical Properties of ZAO Films
摘要
关键词
Al掺杂ZnO薄膜/氧氩流量比/射频反应溅射/透光率引用本文复制引用
于芬,闫金良,马秋明..氧氩流量比对Al掺杂ZnO薄膜光电性能的影响[J].半导体学报,2007,28(z1):153-156,4.基金项目
鲁东大学研究生创新基金资助项目(批准号:20050411) （批准号:20050411）
