海南师范大学学报(自然科学版)2008,Vol.21Issue(2):153-157,5.
脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟
Simulation of the dynamics process of pulsed laser deposition of ZnO thin film
胡春香 1吴瑜之1
作者信息
- 1. 江西蓝天学院公教部数理教研室,江西,南昌,330098
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摘要
关键词
脉冲激光沉积/等离子体羽辉/差分模拟/粒子速度/ZnO薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
胡春香,吴瑜之..脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟[J].海南师范大学学报(自然科学版),2008,21(2):153-157,5.