电子器件2008，Vol.31Issue(5)：1533-1536,4.
一种新型MEMS电磁继电器的研究
Research of a New Type MEMS Electromagnetic Relay
摘要
关键词
微机电系统(MEMS)/电磁驱动/微继电器/微电铸分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘亮,赵小林,戴旭涵,鲁李乐,丁桂甫..一种新型MEMS电磁继电器的研究[J].电子器件,2008,31(5):1533-1536,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(50405013) （50405013）
国家863计划项目资助(2006AA04Z360)、上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309) （2006AA04Z360）
微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C790301060C79) （9140C790301060C79）
