|国家科技期刊平台

首页|期刊导航|物理学报|稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数

稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数

傅春寅鲁永令曾树荣

物理学报Issue(9)：1534-1539,6.

✕

物理学报Issue(9)：1534-1539,6.

稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数

傅春寅 ¹鲁永令 ¹曾树荣¹

作者信息

折叠

摘要

关键词

金属硅化物/稀土元素/Ce/扩散/VLSI

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

傅春寅,鲁永令,曾树荣..稀土元素Ce热引入Si单晶中及Ce在Si中的扩散系数[J].物理学报,1989,(9):1534-1539,6.

物理学报

OACSCD

ISSN：1000-3290

访问量0

|

下载量0

段落导航

相关论文

摘要
关键词
分类
引用文本