传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1535-1537,1541,4.
基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统
Measurement System for in-situ Extracting Material Parameters of MEMS Thin Film Based on Data Acquisition
摘要
关键词
MEMS/数据采集/材料参数/在线测试分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李巧萍,李伟华..基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统[J].传感技术学报,2006,19(5):1535-1537,1541,4.基金项目
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519) （批准号:50325519）
