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微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析

何高法 唐一科 刘世明 何晓平

传感技术学报2007,Vol.20Issue(7):1535-1538,4.
传感技术学报2007,Vol.20Issue(7):1535-1538,4.

微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析

A Novel Micro Leverage Mechanism Optimization for Micro Resonant Accelerometer

何高法 1唐一科 2刘世明 1何晓平2

作者信息

  • 1. 重庆大学机械工程学院,重庆,400030
  • 2. 重庆科技学院机械系,重庆,400050
  • 折叠

摘要

关键词

微机电系统/微杠杆/柔性铰链/加速度计

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

何高法,唐一科,刘世明,何晓平..微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析[J].传感技术学报,2007,20(7):1535-1538,4.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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