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压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究

王楷群 张文栋 毛海央

传感技术学报2008，Vol.21Issue(9)：1536-1540,5.
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传感技术学报2008，Vol.21Issue(9)：1536-1540,5.

压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究

Study on the Sensitivity of the Piezoresistive Accelerometer as a Function of Temperature

王楷群 1张文栋 1毛海央2

作者信息

  • 1. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051
  • 2. 北大学微电子研究所,北京,100871
  • 折叠

摘要

关键词

相对误差/温度偏差/迁移率/灵敏度/压阻式微加速度计

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王楷群,张文栋,毛海央..压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究[J].传感技术学报,2008,21(9):1536-1540,5.

基金项目

国家自然基金资助(50775209/E052502) （50775209/E052502）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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