电子器件2008，Vol.31Issue(5)：1537-1541,5.
MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究
Modeling and Experimental Study of an MEMS Electromagnetic Actuator
摘要
关键词
微机电系统(MEMS)/电磁驱动/分布磁动势分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
鲁李乐,赵小林,戴旭涵,刘亮,丁桂甫..MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究[J].电子器件,2008,31(5):1537-1541,5.基金项目
国家自然科学基金项目资助(50405013) （50405013）
国家863计划项目资助(2006AA04Z360) （2006AA04Z360）
上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309) （05dz22309）
微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C790301060C79) （9140C790301060C79）
