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LPCVD a-Si薄膜的缺陷补偿和掺杂

章佩娴 姚杰 彭少麒

物理学报Issue(12)：1538-1544,7.
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物理学报Issue(12)：1538-1544,7.

LPCVD a-Si薄膜的缺陷补偿和掺杂

章佩娴 1姚杰 1彭少麒1

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章佩娴,姚杰,彭少麒..LPCVD a-Si薄膜的缺陷补偿和掺杂[J].物理学报,1987,(12):1538-1544,7.

物理学报

1000-3290

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