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甲酚醛树脂-HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究

吴兵李元昌陈明

感光科学与光化学Issue(2)：154,1.

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感光科学与光化学Issue(2)：154,1.

甲酚醛树脂-HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究

吴兵 ¹李元昌 ¹陈明¹

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吴兵,李元昌,陈明..甲酚醛树脂-HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究[J].感光科学与光化学,1998,(2):154,1.

基金项目

国家自然科学基金委基金（）

感光科学与光化学

OA北大核心CSCD

ISSN：1674-0475

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