光学精密工程2007,Vol.15Issue(10):1540-1546,7.
直线电机驱动的H型气浮导轨运动平台
H-type air-bearing motion stage driven by linear motors
摘要
关键词
直线电机/H型运动平台/同步控制/气浮导轨/预加载分类
机械制造引用本文复制引用
刘强,张从鹏..直线电机驱动的H型气浮导轨运动平台[J].光学精密工程,2007,15(10):1540-1546,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.50390063) (No.50390063)