采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究

王耀辉张旭吴先映徐元直张荟星张孝吉

北京师范大学学报（自然科学版）2007，Vol.43Issue(2)：154-157,4.

INVESTIGATION ON AMORPHOUS CARBON FILMS FABRICATED BY DUAL PLASMA TECHNIQUE

王耀辉 ¹张旭 ¹吴先映 ¹徐元直 ¹张荟星 ¹张孝吉¹

作者信息

非晶态碳膜/磁过滤阴极真空弧/过滤线圈电流/乙炔的体积流量/结构和性能

化学化工

王耀辉,张旭,吴先映,徐元直,张荟星,张孝吉..采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究[J].北京师范大学学报（自然科学版）,2007,43(2):154-157,4.

国家自然科学基金资助项目(50141022) （50141022）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：0476-0301

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