电子器件2007，Vol.30Issue(5)：1542-1546,5.
基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点
MEMS-Based Carbon Nanotube and Carbon Nanofiber Copper Micro Special Electric Contact
摘要
关键词
电接触/异型触点/MEMS/碳纳米管/碳纳米纤维分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王裕超,丁桂甫,吴惠箐,汪红,姚锦元,杨春生..基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点[J].电子器件,2007,30(5):1542-1546,5.基金项目
上海市纳米专项基金资助(0452nm049,05nm05004) （0452nm049,05nm05004）
上海市自然基金资助(05ZR14076) （05ZR14076）
