|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|强激光与粒子束|双离子束溅射沉积HfO2光学薄膜的研究

双离子束溅射沉积HfO2光学薄膜的研究

张文杰 彭玉峰 王建成 程祖海

强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(9)：1543-1546,4.
✕
强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(9)：1543-1546,4.

双离子束溅射沉积HfO2光学薄膜的研究

HfO2 optical films prepared by dual ion beam sputtering deposition

张文杰 1彭玉峰 2王建成 2程祖海3

作者信息

  • 1. 玉林师范学院,物理与信息科学系,广西,玉林,537000
  • 2. 河南师范大学,物理与信息工程学院,河南,新乡,453007
  • 3. 深圳市深新隆实业有限公司,广东,深圳,518055
  • 折叠

摘要

关键词

双离子束溅射沉积/氧化铪薄膜/激光损伤阈值/残余应力

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张文杰,彭玉峰,王建成,程祖海..双离子束溅射沉积HfO2光学薄膜的研究[J].强激光与粒子束,2007,19(9):1543-1546,4.

基金项目

国家973计划项目资助课题 （）

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文