半导体学报2001，Vol.22Issue(12)：1546-1550,5.
硅基SiO2光波导
Silica-on-Silicon Optical Waveguides
徐永青 1梁春广 1杨拥军 1赵彤1
作者信息
- 1. 信息产业部电子第十三研究所,石家庄，050051
- 折叠
摘要
关键词
二氧化硅/光波导/氢氧焰淀积/微电子机械系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐永青,梁春广,杨拥军,赵彤..硅基SiO2光波导[J].半导体学报,2001,22(12):1546-1550,5.基金项目
国家集成光电子联合重点实验室资助项目.4 （）
