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高Al组分AlxGa1-xN薄膜的弹性-塑性力学性质

许福军沈波王茂俊许谏苗振林杨志坚秦志新张国义蔺冰白树林

半导体学报2007，Vol.28Issue(10)：1551-1554,4.

高Al组分AlxGa1-xN薄膜的弹性-塑性力学性质

Elastic-Plastic Mechanical Properties of AlxGa1-xN Thin Films with High Al Composition

许福军 ¹沈波 ¹王茂俊 ¹许谏 ¹苗振林 ¹杨志坚 ¹秦志新 ¹张国义 ¹蔺冰 ²白树林²

作者信息

1. 北京大学物理学院,人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京,100871
2. 北京大学工学院,先进材料与纳米技术系,北京,100871
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摘要

关键词

AlxGa1-xN薄膜/杨氏模量/力学性质/塑性形变

分类

数理科学

引用本文复制引用

许福军,沈波,王茂俊,许谏,苗振林,杨志坚,秦志新,张国义,蔺冰,白树林..高Al组分AlxGa1-xN薄膜的弹性-塑性力学性质[J].半导体学报,2007,28(10):1551-1554,4.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60325413,60628402),国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB604908,2006CB921607),教育部科技创新工程重大项目培育基金(批准号:705002)和北京市自然科学基金(批准号:4062017)资助项目（批准号:60325413,60628402）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1674-4926

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