半导体学报2001，Vol.22Issue(12)：1551-1556,6.
MEMS光开关
Fabrication of MEMS Optical Switches
梁春广 1徐永青 1杨拥军1
作者信息
- 1. 信息产业部电子第十三研究所,石家庄，050051
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摘要
关键词
微机械:光开关/硅-玻璃键合分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梁春广,徐永青,杨拥军..MEMS光开关[J].半导体学报,2001,22(12):1551-1556,6.基金项目
国家八六三光电子主题、国家集成光电子联合重点实验室资助项目. （）
