测试技术学报2003，Vol.17Issue(2)：156-160,5.
单芯片集成加速度计陀螺的研究
Study on Single Chip Integration Accelerometer Gyroscope
摘要
关键词
陀螺仪/加速度计/静电驱动/单芯片集成分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘俊,石云波,张文栋..单芯片集成加速度计陀螺的研究[J].测试技术学报,2003,17(2):156-160,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目60104005 （）
霍英东基金项目81046 （）
