物理学报2007,Vol.56Issue(3):1563-1567,5.
衬底温度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响
Effect of substrate temperature on the ZnO thin films as TCO in solar cells grown by MOCVD technique
摘要
关键词
MOCVD/ZnO薄膜/透明导电氧化物/太阳电池分类
数理科学引用本文复制引用
陈新亮,薛俊明,张德坤,孙建,任慧志,赵颖,耿新华..衬底温度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响[J].物理学报,2007,56(3):1563-1567,5.基金项目
天津市自然科学基金(批准号:043604911)和天津市科技攻关项目(批准号:043186511)资助的课题. (批准号:043604911)