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Ga掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长及其特性

朱顺明 叶建东 顾书林 刘松民 郑有炓 张荣 施毅

半导体学报2005,Vol.26Issue(8):1567-1571,5.
半导体学报2005,Vol.26Issue(8):1567-1571,5.

Ga掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长及其特性

MOCVD Growth and Properties of Ga-Doped ZnO Films

朱顺明 1叶建东 1顾书林 1刘松民 1郑有炓 1张荣 1施毅1

作者信息

  • 1. 江苏省光电功能材料重点实验室,南京大学物理系,南京,210093
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摘要

关键词

氧化锌/掺杂/Burstein-Moss效应/能带重整化/金属有机化学气相外延

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱顺明,叶建东,顾书林,刘松民,郑有炓,张荣,施毅..Ga掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长及其特性[J].半导体学报,2005,26(8):1567-1571,5.

基金项目

国家重点基础研究发展规划(批准号:G001CB3095),国家自然科学基金(批准号:60276011,60390073)和国家高技术研究发展计划(批准号: 2002AA311060)资助项目 (批准号:G001CB3095)

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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