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硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究

王阳元武国英郝一龙张大成肖志雄李婷张国炳张锦文

电子学报2002，Vol.30Issue(11)：1577-1584,8.

Study of Silicon-Based MEMS Technology and Its Standard Process

王阳元 ¹武国英 ¹郝一龙 ¹张大成 ¹肖志雄 ¹李婷 ¹张国炳 ¹张锦文¹

作者信息

MEMS标准工艺/高深宽比刻蚀/键合/多晶硅/应力/防粘附

信息技术与安全科学

王阳元,武国英,郝一龙,张大成,肖志雄,李婷,张国炳,张锦文..硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究[J].电子学报,2002,30(11):1577-1584,8.

国家重大基础研究项目(973)(No.G1999033109,G1999033108) （973）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：0372-2112

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