中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：158-160,3.
基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计
Design of RF BAW Filter Using Surface Micromachining Technology
乔东海1
作者信息
- 1. 中国科学院声学研究所,北京,100080
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摘要
关键词
射频滤波器/MEMS器件/薄膜体声波谐振器/滤波器设计分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
乔东海..基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计[J].中国机械工程,2005,16(z1):158-160,3.
