光学精密工程2005，Vol.13Issue(2)：158-164,7.
高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究
Design and measurement of RF-MEMS CPW on HRS
摘要
关键词
射频/微机电系统/共面波导/特征阻抗分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘泽文,宣云,雷啸锋,李志坚,刘理天..高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究[J].光学精密工程,2005,13(2):158-164,7.基金项目
国家973重点基础研究发展资助项目(No.G1999033105) （No.G1999033105）
