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PMOSFET's热载流子退化模拟及寿命评估的统一模型

张进城 郝跃 朱志炜

半导体学报2001,Vol.22Issue(12):1586-1591,6.
半导体学报2001,Vol.22Issue(12):1586-1591,6.

PMOSFET's热载流子退化模拟及寿命评估的统一模型

A Unified Model for Hot-Carrier-Induced Degradation Simulation and Lifetime Prediction of PMOSFET's

张进城 1郝跃 1朱志炜1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071
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摘要

关键词

PMOS器件/热载流子退化/退化模拟/寿命评估

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张进城,郝跃,朱志炜..PMOSFET's热载流子退化模拟及寿命评估的统一模型[J].半导体学报,2001,22(12):1586-1591,6.

基金项目

国防预先研究资助项目(项目编号:8.5.3.4). (项目编号:8.5.3.4)

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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