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基于侧壁压阻式的位移传感器研制及应用

孙立宁 王家畴 荣伟彬 李欣昕

半导体学报2008，Vol.29Issue(8)：1589-1594,6.
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半导体学报2008，Vol.29Issue(8)：1589-1594,6.

基于侧壁压阻式的位移传感器研制及应用

Development of a Displacement Sensor with a Sidewall Piezoresistor and Its Typical Application

孙立宁 1王家畴 1荣伟彬 2李欣昕1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学先进机器人与系统国家重点实验室,哈尔滨,150001
  • 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室,上海,200050
  • 折叠

摘要

关键词

微机电系统/侧壁压阻/定位平台/反应离子刻蚀/位移传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孙立宁,王家畴,荣伟彬,李欣昕..基于侧壁压阻式的位移传感器研制及应用[J].半导体学报,2008,29(8):1589-1594,6.

基金项目

国家杰出青年基金(批准号:50725518),国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA042315),长江学者和创新团队发展计划资助项目 （批准号:50725518）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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