电子学报2002，Vol.30Issue(11)：1597-1600,4.
硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究
Design and Fabrication of Silicon Micromachining Suspended Inductor
摘要
关键词
微机械/电感/Q值/多孔硅/牺牲层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
丁勇,刘泽文,刘理天,李志坚..硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究[J].电子学报,2002,30(11):1597-1600,4.基金项目
国家"973"重点基础研究发展项目(No.G1999033105) （No.G1999033105）
