半导体学报2005，Vol.26Issue(8)：1599-1604,6.
考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器小信号宏模型
A Mechanical-Magnetic Coupling Macromodel for a Magnetic Microbeam Actuator
摘要
关键词
多级曲折磁芯微梁执行器/力-磁耦合/宏模型/悬壁梁分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
方玉明,黄庆安,李伟华..考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器小信号宏模型[J].半导体学报,2005,26(8):1599-1604,6.基金项目
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA431010)和江苏省高校自然科学研究计划(批准号:03KJB510089)资助项目 （批准号:2002AA431010）
