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OpenGL在MEMS工艺仿真中的应用研究

沈海平 达飞鹏

计算机应用研究2005,Vol.22Issue(12):160-162,3.
计算机应用研究2005,Vol.22Issue(12):160-162,3.

OpenGL在MEMS工艺仿真中的应用研究

Research on MEMS Technical Simulation with OpenGL

沈海平 1达飞鹏1

作者信息

  • 1. 东南大学,自动化研究所,江苏,南京,210096
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS/MFC/OpenGL/工艺仿真

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

沈海平,达飞鹏..OpenGL在MEMS工艺仿真中的应用研究[J].计算机应用研究,2005,22(12):160-162,3.

计算机应用研究

OA北大核心CSCD

1001-3695

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