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硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

李观启 尤文俊 黄美浅 曾绍洪 黄钊洪

ACTA PHYSICA SINICAIssue(1)：160-167,8.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(1)：160-167,8.

硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

李观启 1尤文俊 1黄美浅 2曾绍洪 2黄钊洪2

作者信息

  • 1. 华南理工大学应用物理系
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摘要

关键词

硅衬底/陶瓷半导体/薄膜/钛酸锶/湿敏特性

分类

信息技术与安全科学

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李观启,尤文俊,黄美浅,曾绍洪,黄钊洪..硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究[J].ACTA PHYSICA SINICA,1998,(1):160-167,8.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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