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MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测

王佩瑶 唐洁影 余存江 恩云飞 师谦

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1602-1605,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1602-1605,4.

MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测

Stiction Reliability Prediction for Polysilicon Micro-Cantilevers under Shock

王佩瑶 1唐洁影 1余存江 1恩云飞 2师谦2

作者信息

  • 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
  • 2. 信息产业部电子第五研究所可靠性研究分析中心,广州,510610
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摘要

关键词

MEMS/微悬臂梁/粘附失效/可靠度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王佩瑶,唐洁影,余存江,恩云飞,师谦..MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测[J].传感技术学报,2006,19(5):1602-1605,4.

基金项目

国防科技重点实验室基金资助项目:电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室项目(51433030105JW0601) （51433030105JW0601）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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